البحث في المنتجات
الأصناف
كرات PSL 47 نانومتر ، حجم زجاجة 50 مل خرز البوليسترين اللاتكس

Surf-Cal ، معايير حجم الجسيمات ، حجم 50 مل ، مخلوط مسبقًا إلى 1x10E8 و 1x10E10 تركيز / مل

معايير حجم الجسيمات ™ SURF-CAL المستخدمة في معايرة الحجم ومراقبة أنظمة فحص سطح المسح (SSIS). تتوافق أحجام الجسيمات الموضحة أدناه مع أحجام جسيمات المعايرة التي يطلبها مصنعو الأجهزة. يجب عليك إكمال فحوصات المعايرة الدورية والمراقبة الأسبوعية للحجم والعدد للتأكد من مقارنة ماسح فحص الرقاقة بالماسحات الضوئية في مواقع أخرى. يتم تعليق جميع كريات البوليسترين المجهرية في ماء منزوع الأيونات ومصفى في حجم زجاجة 50 مل بتركيز 3 × 10 E8 أو 1 × 10 جسيمات E10 لكل مل. الأحجام المشار إليها بـ * تشبه جسيمات NIST SRM عند هذا القطر. معامل الانكسار هو 1.59 @ 589 نانومتر (25 درجة مئوية) لجميع كريات البوليسترين المجهرية أدناه. كل زجاجة مستقرة لمدة 12 شهرًا ومعبأة بشهادة المعايرة والتتبع إلى NIST.

من خلال ترسيب كرات PSL (لاتكس البوليسترين) القابلة للتتبع من SURF-CAL على رقاقات السيليكون العارية والنمط ، يمكنك إجراء فحوصات دورية لمعايرة الحجم على أدوات KLA-Tencor و Hitachi و ADE و Topcon SSIS ومقارنة ماسح فحص الرقاقة الخاص بك مع الماسحات الضوئية في مواقع أخرى. يمكنك أيضًا تقييم أداء SSIS الخاص بك في مراحل حرجة من عملية التصنيع. يتم تعليق جميع المنتجات في ماء منزوع الأيونات ومصفى (ماء DI) في زجاجات سعة 50 مل بتركيز 3 × 10 e10 جزيئات / مل أو 1 × 10 e10 جسيمات / مل. معايير حجم جسيمات Surf-Cal هذه عبارة عن كريات مجهرية من البوليسترين تم تغيير حجمها بواسطة محلل التنقل التفاضلي (DMA) أو تقنيات استبعاد الحجم الأخرى.

التصنيف: الوسوم (تاج): , , , , , , , , , , , ,

رقم القطعة

عدد التركيز / مل

قطر الجسيمات

حجم التوزيع

 سعر الزجاجة 50 مل
APPD-047 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
APPD-047B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
APPD-064 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
APPD-064B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
APPD-083 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-083B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-092 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-092B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
AP PD-100 * 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-100B * 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-125 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-125B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-155 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-155B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-200 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-200B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-204 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-204B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-215 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-215B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-305 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-305B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-365 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.005μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-365B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.005μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-500 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.006μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-500B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.006μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-800 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.006μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-800B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.006μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD-802 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.009μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
AP PD-802B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.009μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD1100 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.011μm

$ 295.00    أضف إلى العربة
أب PD1100B 1 س 1010 الجسيمات / مل شنومك μm 0.011μm

$ 1495.00   أضف إلى العربة
أب PD1600 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.016μm $ 295.00    أضف إلى العربة
أب PD2000 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.019μm $ 295.00    أضف إلى العربة
أب PD3000 3 س 108 الجسيمات / مل شنومك μm 0.026μm $ 295.00    أضف إلى العربة

منهجية القياس:

لضمان إمكانية تتبع NIST ، تم نقل الأقطار المعتمدة لهذه المنتجات عن طريق إلكترون الإرسال أو الفحص المجهري البصري من المواد المرجعية القياسية NIST (2). تم حساب عدم اليقين باستخدام NIST Technical Note 1297، 1994 Edition "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST" (4). عدم اليقين المدرج هو عدم اليقين الموسع مع عامل تغطية اثنين (K = 2). تم حساب قطر الذروة باستخدام نطاق ± 2s تقريبًا لتوزيع حجم الجسيمات. تم حساب توزيع الحجم على أنه الانحراف المعياري (SDS) للقمة بأكملها. معامل التباين (CV) هو انحراف معياري واحد معبر عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة. تم حساب توزيع FWHM (العرض الكامل بنصف الحد الأقصى) كتوزيع عند نصف ارتفاع الذروة معبراً عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة.

1. "خارطة طريق التكنولوجيا الوطنية لأشباه الموصلات" ، رابطة صناعة أشباه الموصلات (1999)

2. SD Duke و EB Layendecker ، "الطريقة المعيارية الداخلية لمعايرة حجم الجسيمات الكروية شبه الميكرون بواسطة الميكروسكوب الإلكتروني" ، جمعية الجسيمات الدقيقة (1988)

3. SEMI M52 - دليل لتحديد أنظمة التفتيش السطحية لرقائق السيليكون الجيل 130 نانومتر التكنولوجيا.

4. Barry N. Taylor و Chris E. Kuyatt ، "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST". NIST Technical Note 1297، 1994 edition، September 1994.

منتجات ذات صله

ترجمه "