مجالات PSL ، بوليسترين لاتكس ، Surf-Cal معايير حجم الجسيمات

تعمل SURF-CAL PSL على تبسيط مهمة إعداد رقائق المعايرة في منشأتك من خلال توفير كرات PSL سابقة الخلط في زجاجة 50ml. تتوافق أحجام الجسيمات مع أحجام نقاط المعايرة المطلوبة من قِبل الشركات المصنعة للأداة. تركيزات الجسيمات هي جزيئات 1 x 10 e10 لكل مل. طالب مصنعو SEMI باستخدام أحجام معينة من الجسيمات عند معايرة أنظمة الفحص السطحي للمسح الضوئي ، والمشار إليها أيضًا بأدوات فحص الرقاقات. من خلال العمل مع الشركات المصنعة للأدوات ، تلبي مجالات SURF-CAL PSL معايير M52 (3) و M53 القياسية لـ SEMI. الأحجام المتوفرة هي عقد تغيير الحجم كما هو محدد في خارطة طريق التكنولوجيا الدولية لأشباه الموصلات ، ITRS (1).

من خلال إيداع كرات SURF-CAL ، NIST التي يمكن تتبعها PSL (البوليسترين اللاتكس) على رقائق السيليكون العارية والأنماط ، يمكنك إجراء اختبارات معايرة الحجم الدورية على أدوات KLA-Tencor ، و Hitachi ، و ADE ، و Topcon SSIS ، ومقارنة ماسحة فحص الويفر مع الماسحات الضوئية في مواقع أخرى. يمكنك أيضًا تقييم أداء SSIS في المراحل الحرجة من عملية التصنيع.

يتم تعليق جميع المنتجات في الماء منزوع الأيونات المصفاة (DI المياه) في زجاجات 50 مل في تركيز 3 x1010particles لكل مل. تم قياس هذه المجالات PSL بواسطة محلل التنقل التفاضلي (DMA) أو غيرها من التقنيات استبعاد الحجم.

منهجية القياس:

لضمان إمكانية تتبع NIST ، تم نقل الأقطار المعتمدة لهذه المنتجات عن طريق إلكترون الإرسال أو الفحص المجهري البصري من المواد المرجعية القياسية NIST (2). تم حساب عدم اليقين باستخدام NIST Technical Note 1297، 1994 Edition "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST" (4). عدم اليقين المدرج هو عدم اليقين الموسع مع عامل تغطية اثنين (K = 2). تم حساب قطر الذروة باستخدام نطاق ± 2s تقريبًا لتوزيع حجم الجسيمات. تم حساب توزيع الحجم على أنه الانحراف المعياري (SDS) للقمة بأكملها. معامل التباين (CV) هو انحراف معياري واحد معبر عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة. تم حساب توزيع FWHM (العرض الكامل بنصف الحد الأقصى) كتوزيع عند نصف ارتفاع الذروة معبراً عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة.

1. "خارطة طريق التكنولوجيا الوطنية لأشباه الموصلات" ، رابطة صناعة أشباه الموصلات (1999)

2. SD Duke و EB Layendecker ، "الطريقة القياسية الداخلية لمعايرة حجم الجسيمات الكروية شبه الميكرون بواسطة المجهر الإلكتروني" ، جمعية الجسيمات الدقيقة (1988)

3. SEMI M52 - دليل لتحديد أنظمة التفتيش السطحية لرقائق السيليكون الجيل 130 نانومتر التكنولوجيا.

4. Barry N. Taylor و Chris E. Kuyatt ، "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST". NIST Technical Note 1297، 1994 edition، September 1994.

 

تكوين الجسيمات	البوليستيرين اللاتكس ، PSL المجالات
التّركيز	3 س 1010 جزيئات لكل مل
كثافة الجزيء	1.05 جم / سم مكعب
مؤشر الانكسار	1.59 @ 589nm (25 ° C)
ملء حجم	50 مل
وصف المنتج	المجهرية البوليسترين في ماء منزوع الأيونات المصفاة
تاريخ انتهاء الصلاحية	≤ أشهر 12

أطلب
اقتباس

 

مجالات PSL ، SURF-CAL حجم الجسيمات المعايير
جزء المنتج #	قطر الذروة المعتمدة	الانحراف المعياري	السيرة الذاتية و FWHM	الجسيمات لكل مل
AP PD-047B	47 نانومتر	4 نانومتر	7.5٪، 17.4٪	1 x 10 e10
AP PD-064B	64 نانومتر	3 نانومتر	5.4٪، 10.9٪	1 x 10 e10
AP PD-070B	72 نانومتر	5 نانومتر	7.2٪، 16.2٪	1 x 10 e10
AP PD-080B	80 نانومتر	6 نانومتر	7.0٪، 12.8٪	1 x 10 e10
AP PD-083B	83 نانومتر	4 نانومتر	4.2٪. 9.6٪	1 x 10 e10
AP PD-090B	89 نانومتر	5 نانومتر	5.7٪، 9.6٪	1 x 10 e10
AP PD-092B	92 نانومتر	4 نانومتر	4.6٪، 9.1٪	1 x 10 e10
AP PD-100B	100 نانومتر	3 نانومتر	2.6٪، 5.2٪	1 x 10 e10
AP PD-110B	114 نانومتر	4 نانومتر	3.3٪، 6.3٪	1 x 10 e10
AP PD-125B	126 نانومتر	3 نانومتر	2.4٪، 4.8٪	1 x 10 e10
AP PD-155B	155 نانومتر	3 نانومتر	1.6٪، 3.7٪	1 x 10 e10
AP PD-180B	184 نانومتر	4 نانومتر	2.2٪، 3.9٪	1 x 10 e10
AP PD-200B	202 نانومتر	4 نانومتر	1.8٪، 4.0٪	1 x 10 e10
AP PD-204B	204 نانومتر	4 نانومتر	1.8٪، 3.7٪	1 x 10 e10
AP PD-215B	220 نانومتر	3 نانومتر	1.6٪، 3.3٪	1 x 10 e10
AP PD-305B	304 نانومتر	4 نانومتر	1.4٪، 3.4٪	1 x 10 e10
AP PD-365B	360 نانومتر	5 نانومتر	1.3٪، 2.8٪	1 x 10 e10
AP PD-500B	498 نانومتر	10 نانومتر	2.0٪، 5.0٪	1 x 10 e10
AP PD-800B	809 نانومتر	6 نانومتر	0.8٪، 1.8٪	1 x 10 e10
AP PD-802B	802 نانومتر	9 نانومتر	1.1٪، 2.4٪	1 x 10 e10
AP PD-1100B	شنومك μm	11 نانومتر	1.0٪، 2.5٪	1 x 10 e10