معايير حجم الجسيمات SURF-CAL™ المستخدمة في معايرة حجم الجسيمات ومراقبة أنظمة فحص الأسطح الماسحة (SSIS). تتوافق أحجام الجسيمات الموضحة أدناه مع أحجام جسيمات المعايرة المطلوبة بواسطة...
نطاق السعر: من 495.00 دولارًا إلى 1,930.00 دولارًا
معايير حجم الجسيمات ™ SURF-CAL المستخدمة في معايرة الحجم ومراقبة أنظمة فحص سطح المسح (SSIS). تتوافق أحجام الجسيمات الموضحة أدناه مع أحجام جسيمات المعايرة التي يطلبها مصنعو الأجهزة. يجب عليك إكمال فحوصات المعايرة الدورية والمراقبة الأسبوعية للحجم والعدد للتأكد من مقارنة ماسح فحص الرقاقة بالماسحات الضوئية في مواقع أخرى. يتم تعليق جميع كريات البوليسترين المجهرية في ماء منزوع الأيونات ومصفى في حجم زجاجة 50 مل بتركيز 3 × 10 E8 أو 1 × 10 جسيمات E10 لكل مل. الأحجام المشار إليها بـ * تشبه جسيمات NIST SRM عند هذا القطر. معامل الانكسار هو 1.59 @ 589 نانومتر (25 درجة مئوية) لجميع كريات البوليسترين المجهرية أدناه. كل زجاجة مستقرة لمدة 12 شهرًا ومعبأة بشهادة المعايرة والتتبع إلى NIST.
من خلال ترسيب كرات PSL (لاتكس البوليسترين) القابلة للتتبع من SURF-CAL على رقاقات السيليكون العارية والنمط ، يمكنك إجراء فحوصات دورية لمعايرة الحجم على أدوات KLA-Tencor و Hitachi و ADE و Topcon SSIS ومقارنة ماسح فحص الرقاقة الخاص بك مع الماسحات الضوئية في مواقع أخرى. يمكنك أيضًا تقييم أداء SSIS الخاص بك في مراحل حرجة من عملية التصنيع. يتم تعليق جميع المنتجات في ماء منزوع الأيونات ومصفى (ماء DI) في زجاجات سعة 50 مل بتركيز 3 × 10 e10 جزيئات / مل أو 1 × 10 e10 جسيمات / مل. معايير حجم جسيمات Surf-Cal هذه عبارة عن كريات مجهرية من البوليسترين تم تغيير حجمها بواسطة محلل التنقل التفاضلي (DMA) أو تقنيات استبعاد الحجم الأخرى.
رقم القطعة |
عدد التركيز / مل |
قطر الجسيمات |
حجم التوزيع |
سعر الزجاجة 50 مل |
| APPD-047 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| APPD-047B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-064 | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| APPD-064B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-083 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-083B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| أب PD-092 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-092B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| أب PD-100 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-100B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| أب PD-125 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-125B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| أب PD-155 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-155B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| أب PD-200 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-200B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| أب PD-204 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-204B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| أب PD-215 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-215B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| أب PD-305 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-305B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| أب PD-365 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.005μm |
$ 495.00 |
| AP PD-365B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.005μm |
$1,930.00 |
| أب PD-500 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.006μm |
$ 495.00 |
| AP PD-500B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| أب PD-809 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.006μm |
$ 495.00 |
| AP PD-809B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| أب PD-802 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.009μm |
$ 495.00 |
| AP PD-802B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.009μm |
$1,930.00 |
| أب PD1100 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.011μm |
$ 495.00 |
| أب PD1100B | 1 س 1010 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.011μm |
$1,930.00 |
| أب PD1600 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.016μm | $ 495.00 |
| أب PD2000 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.019μm | $ 495.00 |
| أب PD3000 | 3 س 108 الجسيمات / مل | شنومك μm | 0.026μm | $ 495.00 |
لضمان إمكانية التتبع وفقًا لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا (NIST)، نُقلت الأقطار المعتمدة لهذه المنتجات باستخدام المجهر الإلكتروني النافذ أو المجهر الضوئي من مواد مرجعية قياسية تابعة للمعهد (2). حُسب عدم اليقين باستخدام المذكرة الفنية رقم 1297 الصادرة عن المعهد عام 1994 بعنوان "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياسات المعهد" (4). عدم اليقين المذكور هو عدم اليقين الموسع بمعامل تغطية يساوي اثنين (K=2). حُسب قطر الذروة باستخدام نطاق ± 2 ثانية تقريبًا لتوزيع حجم الجسيمات. حُسب توزيع الحجم كالانحراف المعياري (SDS) للذروة بأكملها. معامل التباين (CV) هو انحراف معياري واحد مُعبر عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة. حُسب توزيع FWHM (العرض الكامل عند نصف الارتفاع) كالتوزيع عند نصف ارتفاع الذروة مُعبرًا عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة.
1. "خارطة الطريق التكنولوجية الوطنية لأشباه الموصلات"، رابطة صناعة أشباه الموصلات (1999)
2. إس دي ديوك وإي بي لاينديكر، "طريقة المعيار الداخلي لمعايرة حجم الجسيمات الكروية دون الميكرون بواسطة المجهر الإلكتروني"، جمعية الجسيمات الدقيقة (1988).
3. SEMI M52 - دليل لتحديد أنظمة التفتيش السطحية لرقائق السيليكون الجيل 130 نانومتر التكنولوجيا.
4. باري ن. تايلور وكريس إي. كويات، "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياسات المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا". مذكرة فنية رقم 1297 صادرة عن المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا، طبعة 1994، سبتمبر 1994.
| رقم القطعة | APPD-047، APPD-047B، APPD-064، APPD-064B، APPD-083، AP PD-083B، AP PD-092، AP PD-092B، AP PD-100، AP PD-100B، AP PD-125، AP PD-125B، AP PD-155، AP PD-155B، AP PD-200، AP PD-200B، AP PD-204، AP PD-204B، AP PD-215، AP PD-215B، AP PD-305، AP PD-305B، AP PD-365، AP PD-365B، AP PD-500، AP بي دي-500بي، أب بي دي-809، AP PD-809B، AP PD-802، AP PD-802B، AP PD1100، AP PD1100B، AP PD1600، AP PD2000، AP PD3000 |
|---|
