البحث في المنتجات
الأصناف

معيار NIST القياسي لمعايرة حجم الجسيمات للمواد المرجعية

NIST ، المواد المرجعية القياسية ، كرات البوليسترين الدقيقة والخرز المستخدمة في معايير رقاقة المعايرة والتلوث للتحقق من دقة حجم أنظمة فحص رقائق KLA و KLA-Tencor.

الوصف

 

NIST SRM ، معايير حجم الجسيمات ، مجالات PSL ، معايرة الحجم

معايير حجم الجسيمات NIST SRM هي معايير المعايرة المعروفة في جميع أنحاء العالم للاستخدام مع أي تطبيق يتطلب معيار حجم NIST SRM (مادة مرجعية للحجم) مع تحجيم دقيق للغاية ، وقمم حجم ضيقة وانحراف معياري ضيق. يمكن استخدامها لمعايرة والتحقق من صحة مجموعة متنوعة من معدات تحجيم الجسيمات بما في ذلك أدوات تشتيت الضوء ، المجاهر الإلكترونية ، ومحللات الحركة التفضيلية. وهي ضرورية بشكل خاص لمعايرة أنظمة فحص المسح السطحي ، والتي تستخدم لاكتشاف وتوصيف العيوب الموجودة في رقائق السيليكون. هناك حاجة إلى جزيئات مرجعية دقيقة لتطوير ودفع أنظمة المسح للحصول على إنتاجية عالية الرقاقة ، وفعالة من حيث التكلفة والتي تعتبر ضرورية لتصغير الجهاز. يمكن أيضًا استخدام الجسيمات المرجعية لتزويد جزيئات التفريق الأحادي (الذروة أحادية الحجم) لاختبار أدوات الهباء الجوي وهي مفيدة لفحص حركيات الهباء الجوي وتقييم استجابة كاشف الجسيمات.

القيمة المعتمدة لقطر الوسائط:

60 نانومتر SRM 1964 تبلغ كريات البوليسترين المجهرية 60.39 نانومتر ، مع عدم يقين موسع يبلغ ± 0.63 نانومتر ؛

100 نانومتر SRM 1963A تبلغ كريات البوليسترين المجهرية 101.8 نانومتر ، مع عدم يقين موسع يبلغ ± 1.1 نانومتر ؛

269 نانومتر SRM 1691 تبلغ كريات البوليسترين المجهرية 269 نانومتر ، مع عدم يقين موسع يبلغ ± 4 نانومتر ؛

895 نانومتر SRM 1690 تبلغ كريات البوليسترين المجهرية 895 نانومتر ، مع عدم يقين موسع يبلغ ± 5 نانومتر.

تم إجراء قياسات باستخدام تحليل قابلية الحركة التفاضلية ويمكن إرجاعها إلى الطول الموجي ليزر He-Ne في الهواء ، 632.807 nm ، والذي تم تحديده فيما يتعلق بالمعيار الأساسي للطول.

البوليسترين اللاتكس المجهرية ، 20-900 نانومتر ، جزيئات البوليسترين اللاتكس اشتري الآن

البوليسترين اللاتكس المجهرية ، 1um-160um ، جزيئات البوليسترين اللاتكس اشتري الآن

يتم معايرة الأقطار الكروية بأبعاد خطية تحسب بواسطة NIST. تستخدم الكرات بدلاً من الجزيئات غير المنتظمة لتقليل استجابة الماسحات الضوئية الليزرية الحساسة للجسيمات ذات الأشكال. يتم تعبئتها كقواعد معلقة في زجاجات 5 milliliter (مل) بالقطارة. يتم تحسين تركيزات الجسيمات لسهولة التشتت والاستقرار الغرواني. تبلغ كثافة المجالات 1.05 g / cm3 ومؤشر الانكسار 1.59 @ 589 nm ، ويقاس عند درجة 25 درجة مئوية.

تحتوي كل عبوة على شهادة معايرة وإمكانية التتبع لـ NIST تتضمن وصفًا لطريقة المعايرة وعدم اليقين بها ، وجدولًا للخصائص الكيميائية والفيزيائية. تتوفر أيضًا صحيفة بيانات سلامة المواد ، مع تعليمات المناولة والتخلص منها. يتم ترقيم زجاجات PSL كثيرًا للحصول على الخدمة الفنية المريحة والدعم بعد البيع.

المجالات نيست SRM 60.4nm و 101.8nm و 269nm و 895nm
تكوين الجسيمات البوليستيرين اللاتكس ، PSL المجالات
كثافة الجزيء 0.625 g / cm³
مؤشر الانكسار 1.59 @ 589nm (25 ° C)
زجاجة الحجم 5 مل
تاريخ انتهاء الصلاحية ≤ أشهر 24
إضافات يحتوي على كميات ضئيلة من الفاعل بالسطح
درجة حرارة التخزين المقترحة. 2-8 ° C
حجم زجاجة وحجم زجاجة 5ml
مجالات PSL و NIST SRM و 60.4nm و 101.8nm و 269nm و 895nm

جزء المنتج #

القطر الاسمي

يعني متوسط ​​الذروة

الأمراض المنقولة جنسيا. التطوير والسيرة الذاتية

محتوى المواد الصلبة

AP1690   

 895 نانومتر

895nm ± 5 nm

 0.7 نانومتر

0.50%

AP1691   

 269 نانومتر

269nm ± 4 nm

 5.3 نانومتر

0.50%

AP1963A   

 101.8 نانومتر

101.8nm ± 1.1 nm

 0.55 نانومتر

0.50%

AP1964   

 60.4 نانومتر

60.39nm ± 0.63 nm

0.31 نانومتر

0.50%

ترجمه "