Applied Physics الولايات المتحدة الأميركية
الخرز البوليستيرين اللاتكس ، معايير حجم الجسيمات
Applied Physics الولايات المتحدة الأمريكية: مجالات PSL ، كرات البوليسترين الدقيقة ، معايير حجم الجسيمات
Applied Physics تقدم الولايات المتحدة الأمريكية كرات PSL وحبيبات البوليسترين كمعايير لحجم الجسيمات لمعايرة أجهزة الهباء الجوي. تتطلب أدوات فحص الرقاقات ، مثل KLA-Tencor SP1 و KLA-Tencor SP2 و TopCon و ADE و Hitachi أيضًا معايرة الحجم ، والتي يتم تحقيقها من خلال استخدام كرات لاتكس البوليسترين. يتم توفير كرات PSL وكريات البوليسترين الدقيقة والخرز بأحجام تتراوح من 20 نانومتر إلى 10 ميكرون لمعايرة منحنيات استجابة الحجم لأنظمة فحص الرقاقات المعنية وعدادات جزيئات الليزر. تُستخدم كرات PSL من 20 نانومتر إلى حوالي 5 ميكرون عادةً لمعايرة استجابة حجم عدادات جسيمات الليزر. يمكن استخدام كريات البوليسترين الدقيقة لإنتاج معايير رقاقة المعايرة ومعايير رقاقة الجسيمات ، والتي تُستخدم لمعايرة استجابة حجم أدوات KLA-Tencor Surfscan وأدوات Tencor Surfscan الأقدم
Applied Physics الولايات المتحدة الأميركية
يمكن طلب خرز البوليسترين اللاتكس عن طريق الاتصال Applied Physics في (719) 428-4042.
تتم معايرة أنظمة فحص الرقاقات ، المشار إليها باسم أنظمة فحص سطح المسح ، SSIS ، وعلى الأخص من KLA-Tencor و Hitachi ، باستخدام معايير PSL Wafer ، وهي رقائق Prime Silicon المودعة مع كرات PSL بأحجام محددة وتوزيع ضيق الحجم. تستخدم أدوات فحص الويفر لفحص نظافة أسطح الويفر 300 مم ، 200 مم ، 150 مم ؛ السيليكون العاري أو الفيلم المترسب ، سطح رقاقة. يمكن لـ SSIS تحديد موقع X / Y لمجالات وجزيئات PSL ، ووصف حجم كل عيب بالإضافة إلى تلخيص إجمالي عدد الجسيمات على سطح الرقاقة. تُستخدم أنظمة فحص رقائق KLA-Tencor ، مثل Tencor 6200 و 6420 و KLA-Tencor SP1 و KLA-Tencor SP2 و KLA-Tencor SP3 ، في جميع أنحاء صناعة أشباه الموصلات لهذا التطبيق. تمتلك Topcon سلسلة 3000 و 5000 و 7000 من أنظمة فحص الويفر. توفر Estek و ADE و Aeronca و Hitachi أيضًا مجموعة متنوعة من أنظمة فحص الرقائق. تقريبًا كل SSIS يتم إنتاجه اليوم قادر على الكشف عن حساسية حجم الجسيمات بحجم 30 نانومتر أو أفضل. تستخدم كرات PSL لتمثيل معايير حجم الجسيمات على سطح الرقاقة. Applied Physics يوفر أحجام PSL Sphere من 20 نانومتر إلى 160 ميكرون لمعايرة الحجم ، واختبارات مرشح HEPA ، وما إلى ذلك. يمكن طلب كرات PSL عن طريق الاتصال Applied Physics في (719) 428-4042.
يتم استخدام كرات PSL مع أنظمة ترسيب بسكويتات الويفر PSL لإنتاج مقاييس بسكويت بسكويت الويفر الخاصة بـ PSL ، والتي يشار إليها أيضًا باسم معايير رقائق الجسيمات. في كلتا الحالتين ، بعد إنتاج PSL Wafer Standard ، يتم وضعه بعد ذلك على نظام فحص الويفر ويتم مسحه ضوئيًا بواسطة SSIS ليزر واحد أو SSIS ليزر مزدوج. تتم مقارنة استجابة حجم PSL الفعلية مع استجابة حجم SSIS. إذا لم تتطابق القمتان ، فيجب معايرة SSIS. تكون كرات PSL عالية الاختلاط عالية الدقة لأنظمة 2300XP1 وأنظمة 2300 NPT-1 و 2300NPT-2 و M2300G3 لترسيب الويفر.
مجالات PSL ، تركيز 1 ٪.
تأتي كرات PSL المخلوطة مسبقًا في زجاجة 50ml ، وهي أحادية التشتت (بحجم توزيع 1) ، ويتم توفيرها من حوالي 47nm إلى 950nm. يتم سكب محلول PSL هذا مباشرة في وعاء البخاخات أو البخاخة. الخلط المسبق هو وسيلة ملائمة لشراء حبات اللاتكس من البوليستيرين ، حيث أن كل التخفيف تم إنجازه بطريقة موحدة للغاية ، لا بلوس ، بلا ضجة ، مما يسمح للمستخدم بعدم التعامل مع مزج حبات اللاتكس البوليسترين باستخدام الأكواب وماء DI والصواني بالموجات فوق الصوتية. يتم توفير مادة PSL غير المختلطة في زجاجة 15ml ، بحجم أحادي التشتت (توزيع حجم 1) ، وعادة بتركيز 1٪. يتم توفير مجالات PSL هذه في مجموعة واسعة من الأحجام ، ولكن لأغراضنا ، من 20nm إلى 4um في الحجم. يجب خلط مادة PSL مع التخفيف المناسب أو ستكون مركزة أو ضعيفة جدًا بحيث لا توفر نتائج فعالة عند محاولة الإيداع بواسطة أحد أنظمة ترسيب الويفر PSL أعلاه. CleanRoom Foggers رابط