في عالم تصنيع أشباه الموصلات والتحقق من صحة غرف التنظيف، لا يوجد هامش للخطأ.
مع ازدياد صغر حجم الرقائق الدقيقة وتعقيدها، أصبحت القدرة على اكتشاف وتحديد كمية الجسيمات دون الميكرون على رقائق السيليكون أمراً بالغ الأهمية.
وهنا تلعب كرات PSL (اللاتكس البوليسترين)، المعيار الذهبي لمعايرة القياسات، دورًا محوريًا.
إن فهم العلم الكامن وراء هذه المجالات أمر ضروري لأي منشأة تتطلع إلى تحسين دقة أنظمة فحص الأسطح الماسحة (SSIS).
تتميز كرات البوليسترين اللاتكس (PSL) بأنها متجانسة، جسيمات كروية تُصنع هذه المواد من مواد بوليمرية. وفي علم القياس، تُستخدم كمعايير للأحجام نظرًا لثبات أبعادها المذهل وشكلها المنتظم.
تُعلق هذه الكرات عادةً في ماء منزوع الأيونات، وهي مصممة هندسيًا لتكون ذات شكل كروي شبه مثالي. ويمكن قياس حجمها بدقة متناهية باستخدام أجهزة تحليل الحركة التفاضلية أو المجهر الإلكترونيفهي بمثابة مسطرة لمعايرة عدادات الجسيمات البصرية وأدوات فحص الرقائق.
يستخدم نظام فحص الأسطح بالمسح الضوئي (SSIS) تشتت ضوء الليزر للكشف عن التلوث على سطح الرقاقة. ومع ذلك، فإن الليزر لا يعرف بطبيعته... حجم الجسيمفهو يقيس فقط شدة الضوء المنعكس عنه.
بدون مرجع معروف، لا تستطيع أداة الفحص التمييز بين قطعة أثرية غير ضارة وعيب حرج. توفر كرات PSL هذا المرجع. من خلال ترسيب حجم معروف من كرات PSL على رقاقة معايرة قياسية، يمكن للمهندسين برمجة SSIS للتعرف على شدة تشتت الضوء المحددة كأحجام جسيمات محددة.
في بيئات عالية المخاطر مثل مصانع أشباه الموصلاتلا يُعدّ التقريب خيارًا مقبولًا. يجب أن تستند المعايرة إلى الحقيقة المطلقة.
كرات PSL القابلة للتتبع وفقًا لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا (NIST) هي جسيمات تم التحقق من حجمها وفقًا للمعايير التي وضعها المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا.
استخدام مواد قابلة للتتبع وفقًا لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا (NIST)
في صناعة أشباه الموصلات، يمثل العائد النسبة المئوية لـ رقائق وظيفية يتم إنتاجها من رقاقة واحدة. التلوث هو السبب الرئيسي لفقدان الإنتاج.
باستخدام كرات PSL عالية النقاء لأغراض المعايرة الروتينية، يمكن للمنشآت ضبط حساسية نظام SSIS بدقة. وهذا يضمن أن يحدد الجهاز التهديدات الحقيقية بدقة عالية، مما يحمي الأرباح بشكل مباشر ويحسن كفاءة الإنتاج الإجمالية.
| معامل | المواصفات الفنية / القيمة | التأثير على دقة SSIS |
|---|---|---|
| معامل الانكسار ($n$) | 1.5905 عند 589 نانومتر (25 درجة مئوية) | يحدد شدة تشتت الضوء المستخدمة في حسابات نظرية مي |
| الكثافة ($\rho$) | 1.05 g / cm³ | يضمن الطفو المحايد في المعلقات المائية لترسيب الجسيمات بشكل موحد |
| الخامة | البوليسترين / ثنائي فينيل بنزين (DVB) | يوفر استقرارًا عالي الأبعاد ومقاومة للانصهار الناتج عن الليزر |
| توزيع الحجم (معامل التباين) | < 3% (معامل التباين) | يضمن تجانس الحجم؛ وهو أمر ضروري لتحديد قمة الحجم بوضوح |
| الشحن السطحي | معدل بالكبريتات أو الكربوكسيل | يمنع تكتل الجسيمات (التجمع) أثناء ترسيب الرقاقات |
| التتبع | NIST (المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا) | يوفر معياراً قانونياً وتقنياً لعمليات تدقيق الجودة العالمية. |
منذ 1992، Applied Physics تُعدّ شركتنا من الشركات الرائدة عالميًا في مجال توفير معايير دقيقة للتحكم في التلوث وعلم القياس. نتخصص في تصوير تدفق الهواء، ومعايير حجم الجسيمات، وحلول تطهير غرف الأبحاث في البيئات الحساسة.
