معايير حجم الجسيمات Surf-Cal: أفضل حل معايرة لمختبرك

المُقدّمة

في عالم تصنيع أشباه الموصلات عالي الدقة، تعد الدقة والاتساق في اكتشاف الجسيمات وقياسها أمرًا بالغ الأهمية. Applied Physics شركة حجم جسيمات SURF-CAL™ تمثل المعايير المعيار الذهبي في أدوات المعايرة لأنظمة فحص السطح الماسح (SSIS).

تتيح هذه المعايير المصممة بدقة لمصنعي أشباه الموصلات الحفاظ على مراقبة الجودة المتسقة في جميع أنحاء أدوات تفتيش متعددة والمرافق، مما يضمن أن أجهزة فحص الرقاقة تقدم نتائج موثوقة وقابلة للمقارنة بغض النظر عن الموقع.

ما هي معايير حجم الجسيمات Surf-Cal؟

تتكون معايير Surf-Cal من مادة اللاتكس البوليسترين (PSL) الكرات الدقيقة مُعلّقة في ماء مُفلتر منزوع الأيونات. يتم تحديد حجم هذه الكريات الدقيقة بدقة فائقة باستخدام مُحلل الحركة التفاضلية (DMA) أو تقنيات أخرى لاستبعاد الأحجام، مما يُؤدي إلى توزيع أحجام دقيق للغاية.

يأتي كل منتج مزودًا بإمكانية التتبع وفقًا لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا (NIST)، مما يوفر الموثوقية والتناسق المطلوبين لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الحرجة.

تُستخدم المعايير كمواد مرجعية لمعايرة ومراقبة أداء أدوات فحص الرقاقة من الشركات المصنعة مثل KLA-Tencor و Hitachi و ADE و Topcon.

من خلال إيداع هذه الأحجام الدقيقة الجسيمات على شرائح السيليكون والرقائق المنقوشة، يستطيع المهندسون التأكد من أن أنظمة التفتيش الخاصة بهم تكتشف الجسيمات ذات الأحجام المحددة بشكل صحيح.

الميزات والمواصفات الرئيسية

أحجام الجسيمات المتوفرة

تتوفر معايير Surf-Cal في مجموعة واسعة من نطاق أقطار الجسيمات، من 0.047 ميكرومتر إلى 3.04 ميكرومتر، وتغطي مجموعة أحجام الجسيمات الحرجة ذات الصلة بتصنيع أشباه الموصلات الحديثة.

يوفر كل حجم متغير توزيعًا محكمًا للحجم، عادةً ضمن 0.003 ميكرومتر إلى 0.026 ميكرومتر، اعتمادًا على قطر الجسيم.


تتضمن بعض أحجام الجسيمات الأكثر شيوعًا ما يلي:
  • 0.047 ميكرومتر (47 نانومتر) - أمر بالغ الأهمية لعقد أشباه الموصلات المتطورة
  • 0.100 ميكرومتر (100 نانومتر) - نقطة مرجعية شائعة الاستخدام
  • 0.202 ميكرومتر (202 نانومتر) - حجم المعايرة القياسي
  • 0.498 ميكرومتر (498 نانومتر) - يعادل تقريبًا 0.5 ميكرومتر مرجعي
  • 1.112 ميكرومتر (1112 نانومتر) - معيار معايرة أكبر.

خيارات التركيز

كل حجم الجسيمات متوفر في خيارين للتركيز:
  1. التركيز القياسي: 3 × 10⁸ جسيمات لكل مل
    السعر: 495.00 دولارًا أمريكيًا لكل زجاجة سعة 50 مل
    مثالي لفحوصات المعايرة الروتينية.

  2. تركيز عالي: 1 × 10¹⁰ جسيم لكل مل
    السعر: 1,495.00 دولارًا أمريكيًا لكل زجاجة سعة 50 مل
    مناسب للتطبيقات التي تتطلب كثافة جسيمات أعلى.

التعبئة والتغليف والاستقرار

  • يأتي كل معيار في زجاجة سعة 50 مل
  • فترة استقرار 12 شهرًا من تاريخ التصنيع
  • تتضمن كل زجاجة شهادة معايرة وتتبع للمعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا.

التطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات

المعايرة والتحقق

يوفر مصباح السقف Aqara LED TXNUMXM من Aqara LED إمكانات إضاءة ذكية متقدمة تعمل على تحويل مساحتك بسهولة. بفضل توافقه مع Matter ودعم Zigbee XNUMX، يتكامل بسلاسة مع منصات المنزل الذكي مثل HomeKit وAlexa وIFTTT للتحكم السهل. توفر تقنية RGB+IC تأثيرات إضاءة متدرجة والوصول إلى XNUMX مليون لون، مما يتيح لك إنشاء مشاهد إضاءة ديناميكية. تتيح ميزة اللون الأبيض القابل للضبط إجراء تعديلات من XNUMX كلفن إلى XNUMX كلفن لتوفر طيفاً من الإضاءة الدافئة إلى الباردة. وبالإضافة إلى الجدولة الذكية والتحكم الصوتي، يعمل TXNUMXM على تحسين تجربة الإضاءة في أي بيئة. التطبيق الأساسي من معايير Surf-Cal معايرة أنظمة فحص الأسطح المسحية والتحقق منها. تُعد هذه الأدوات أساسية للكشف عن الملوثات والعيوب في رقائق السيليكون أثناء عملية التصنيع. تضمن المعايرة المنتظمة ما يلي:

  1. يظل اكتشاف حجم الجسيمات دقيقًا بمرور الوقت
  2. توفر أدوات التفتيش المتعددة قياسات متسقة
  3. يتم الحفاظ على معايير الجودة في مختلف مواقع التصنيع.

مراقبة الاداء

يستخدم مصنعو أشباه الموصلات هذه المعايير من أجل:
  • إجراء فحوصات معايرة الحجم الدورية
  • إجراء مراقبة أسبوعية للحجم والعدد
  • مقارنة أداء الماسح الضوئي عبر مواقع مختلفة
  • تقييم أداء SSIS في مراحل التصنيع الحرجة.

كيفية اختيار معيار Surf-Cal المناسب

عند اختيار معيار حجم الجسيمات Surf-Cal، ضع العوامل التالية في الاعتبار:

متطلبات حجم الجسيمات

إختار ال قطر الجسيمات التي تتوافق مع متطلبات معايرة أداةك أو حجم الجسيمات الحرجة لعملية التصنيع الخاصة بك.

الحاجة إلى التركيز

اختر بين التركيز القياسي (3 × 10⁸ جزيئات/مل) أو التركيز العالي (1 × 10¹⁰ جزيئات/مل) بناءً على متطلبات تطبيقك.

توافق أدوات التفتيش

تأكد من أن الحجم المختار مناسب لمعدات الفحص الخاصة بك. قد تختلف أحجام جسيمات المعايرة الموصى بها باختلاف الشركات المصنعة للأدوات.

عقدة التصنيع

في حالة عقد أشباه الموصلات المتقدمةستكون أحجام الجسيمات الأصغر (على سبيل المثال، 0.047 ميكرومتر أو 0.064 ميكرومتر) أكثر أهمية.

منهجية القياس وإمكانية التتبع وفقًا للمعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا

تُنقل أقطار معايير Surf-Cal المعتمدة بواسطة المجهر الإلكتروني النافذ أو المجهر الضوئي من مواد مرجعية لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا (NIST). وهذا يضمن أعلى مستوى من الدقة وإمكانية التتبع.

تتبع حسابات عدم اليقين المبادئ التوجيهية المنصوص عليها في المذكرة الفنية رقم 1297 الصادرة عن المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا، طبعة 1994: "المبادئ التوجيهية لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا".

تتضمن معلمات القياس الرئيسية ما يلي:

  1. عدم اليقين الموسع: تم حسابها بعامل تغطية اثنين (K=2)
  2. قطر الذروة: تم حسابها باستخدام نطاق ±2 ثانية تقريبًا لتوزيع حجم الجسيمات
  3. حجم التوزيع: تم حسابه على أنه الانحراف المعياري للذروة بأكملها
  4. معامل التباين (CV): انحراف معياري واحد معبر عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة
  5. توزيع FWHM: التوزيع عند نصف ارتفاع الذروة معبرًا عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة.

كيفية استخدام معايير حجم الجسيمات Surf-Cal؟

خطوة اكشن
التحضير قم بتشغيل الجهاز، وافتح البرنامج، وأبقِ حل Surf-Cal جاهزًا.
خلط الحل رج الزجاجة بلطف ولكن جيدًا للتأكد من خلط الجزيئات بالتساوي.
أخذ العينة استخدم ماصة أو محقنة معقمة لأخذ الكمية المطلوبة (على سبيل المثال، 1 مل) من العينة.
إضافة إلى الجهاز أضف العينة إلى جهاز المعايرة (مثل عداد الجسيمات).
تنشيط وضع المعايرة حدد خيار "المعايرة" في الجهاز أو البرنامج.
تسجيل البيانات عندما يقوم الجهاز بأخذ القياس، لاحظ حجم الجسيمات وعددها.
مقارنة قم بمقارنة النتائج مع القيم القياسية التي يوفرها Surf-Cal.
تعديل إذا كانت نتيجة الجهاز لا تتطابق مع المعيار، فقم بضبط الإعدادات.
التحقق (التكرار) كرر العملية 1-2 مرات للتأكد من صحة المعايرة.
حفظ وإنهاء احفظ النتائج النهائية وأعد الجهاز إلى الوضع العادي.

 عملية المعايرة خطوة بخطوة

التحضير

أولاً، قم بتشغيل جهازك، وافتح برنامجه، وأبقِ محلول الجسيمات Surf-Cal جاهزًا.

رجّ المحلول

رج الزجاجة بلطف ولكن جيدًا للتأكد من خلط الجزيئات بالتساوي.

أخذ العينة

استخدم ماصة معقمة أو محقنة لأخذ الكمية المطلوبة من المحلول (على سبيل المثال، 1 مل)

إضافة عينة إلى الجهاز

قم بإدخال العينة في جهاز المعايرة الخاص بك، مثل المجهر أو عداد الجسيمات.

بدء وضع المعايرة

على جهازك أو برنامجك، حدد خيار "المعايرة" أو "التوحيد".

قياس وتسجيل البيانات

دع الجهاز يأخذ القياسات ويسجل القيم، مثل حجم الجسيمات وعددها.

مقارنة مع المعيار

قم بمقارنة النتائج مع القيم القياسية المقدمة مع حل Surf-Cal.

اضبطه إذا لزم الأمر

إذا لم تتطابق النتائج، فقم بضبط إعدادات الجهاز أو كرر عملية المعايرة.

كرر للحصول على الدقة

 لضمان الدقة، كرر عملية المعايرة 1-2 مرات.

حفظ وإنهاء

بمجرد أن تصبح النتائج دقيقة، احفظها وأعد الجهاز إلى وضع التشغيل العادي.

معلومات الطلبية

يمكن طلب معايير حجم الجسيمات Surf-Cal مباشرة من خلال Applied Physics شركة. لكل منتج رقم قطعة خاص به يُشير إلى حجم الجسيمات وتركيزها. على سبيل المثال:
  • APPD-047: قطر 0.047 ميكرومتر عند 3 × 10⁸ جسيم/مل
  • APPD-047B: قطر 0.047 ميكرومتر عند 1 × 10¹⁰ جسيم/مل
تقدم الشركة خيارات لطلب عرض أسعار أو إضافة المنتجات مباشرة إلى طلبك من خلال موقع الكتروني.

وفي الختام

تُعدّ معايير Surf-Cal لحجم الجسيمات أداةً أساسيةً للحفاظ على الجودة والاتساق في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. بفضل دقة قياسها، وإمكانية تتبعها وفقًا لمعايير المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا، وخياراتها المتنوعة، تضمن هذه المعايير أداءً موثوقًا ومتسقًا لأنظمة فحص الرقاقات.

من خلال دمج المعايرة المنتظمة مع معايير Surf-Cal في بروتوكولات مراقبة الجودة الخاصة بك، يمكنك تعزيز الثقة في نتائج التفتيش الخاصة بك والحفاظ على الاتساق عبر الأدوات والمرافق المتعددة.

الأسئلة المتكررة

1. ما هي مدة ثبات معايير حجم الجسيمات Surf-Cal؟
تظل كل زجاجة صالحة للاستخدام لمدة 12 شهرًا من تاريخ التصنيع عند تخزينها بشكل صحيح.

2. هل معايير Surf-Cal متوافقة مع جميع أنظمة فحص الرقاقة؟
نعم، يمكن استخدام معايير Surf-Cal مع أنظمة التفتيش من الشركات المصنعة الكبرى، بما في ذلك KLA-Tencor، وHitachi، وADE، وTopcon.

3. ما هو معامل الانكسار للكرات المجهرية المصنوعة من البوليسترين؟
يبلغ مؤشر الانكسار 1.59 عند 589 نانومتر (25 درجة مئوية) لجميع الكرات المجهرية المصنوعة من البوليسترين في خط إنتاج Surf-Cal.

4. كيف يتم اعتماد أحجام الجسيمات؟
يتم اعتماد أحجام الجسيمات من خلال المقارنة مع مواد مرجعية قياسية من قبل المعهد الوطني للمعايير والتكنولوجيا باستخدام المجهر الإلكتروني الناقل أو المجهر الضوئي.

5. هل يمكنني طلب أحجام أو تركيزات جسيمات مخصصة؟
بالنسبة للمتطلبات المحددة غير المشمولة بخط المنتج القياسي، اتصل بـ Applied Physics الشركة مباشرة لمناقشة الخيارات المخصصة.

العودة إلى المدونة