السيليكا معايير حجم الجسيمات

في مختبرات قياس أشباه الموصلات اليوم ، تستخدم أدوات فحص الرقاقات أشعة ليزر عالية الطاقة لمسح رقاقات سيليكون 200 مم و 300 مم لاكتشاف جزيئات السطح حتى أقل من 30 نانومتر. عند معايرة أنظمة المسح عالية الطاقة بالليزر ، تعد معايرة الحجم مهمة للغاية للكشف عند 30 نانومتر ؛ ولحجم الجسيمات بدقة عبر نطاق الحجم. قد تكون معايرة الحجم باستخدام ليزر عالي الطاقة وكرة لاتكس تقليدية من البوليسترين للمعايرة صعبة ، حيث يمكن أن تؤدي طاقة الليزر العالية إلى إضعاف كرات اللاتكس. الحل هو استخدام جسيمات السيليكا ، معايير الحجم عند 20 نانومتر ، 30 نانومتر ، 50 نانومتر ، 100 نانومتر ، 500 نانومتر ، 1 ميكرومتر و 2 ميكرومتر. الميزة هي أن السيليكا لن تذبل تحت تأثير قوة الليزر العالية ، وبالتالي توفر باستمرار ذروة دقيقة للحجم للمعايرة ؛ وجزيئات السيليكا لها معامل انكسار قريب جدًا مقارنة بجزيئات البوليسترين اللاتكس. السيليكا تلوث معايير الرقاقة; السيليكا معايير حجم الجسيمات