البحث في المنتجات
الأصناف
كرات PSL 47 نانومتر ، حجم زجاجة 50 مل خرز البوليسترين اللاتكس

Surf-Cal ، معايير حجم الجسيمات ، حجم 50ml ، تم خلطها مسبقًا إلى 1x10E10 تركيز / مل

SURF-CAL™ Particle Size Standards used in size calibration and monitoring of Scanning Surface Inspection Systems (SSIS). Particle sizes below correspond to the calibration particle sizes required by instrument manufacturers. You should complete periodic calibration checks and weekly size and count monitoring to ensure your wafer inspection scanner compares with scanners at other locations. All polystyrene microspheres are suspended in deionized, filtered water in 50mL bottle volume at a concentration of 3 × 10 E8 or 1 × 10 E10 particles per mL. Sizes noted with * are similar to NIST SRM particles at that diameter. Refractive Index is 1.59 @ 589nm (25C) for all polystyrene microspheres below. Each bottle is stable for 12 months and is packaged with a Certificate of Calibration and Traceability to NIST.

By depositing SURF-CAL, NIST traceable PSL (polystyrene latex) spheres on bare silicon and pattern wafers, you can perform periodic size calibration checks on your KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS tools and compare your wafer inspection scanner with scanners at other locations. You can also assess the performance of your SSIS at critical stages in the manufacturing process. All products are suspended in deionized, filtered water (DI water) in 50 mL bottles at a concentration of 3 x10 e10 particles/mL or 1 x10 e10 particles/mL. These Surf-Cal particle size standards are polystyrene microspheres that have been sized by Differential Mobility Analyzer (DMA) or other size exclusionary techniques.

التصنيف: العلامات: , , , , , , , , , ,

رقم القطعة

Concentration Count/ml

قطر الجسيمات

حجم التوزيع

 Price per 50 ml Bottle
APPD-047 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
APPD-047B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
APPD-064 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
APPD-064B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
APPD-083 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-083B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-092 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-092B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-100 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-100B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-125 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-125B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-155 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-155B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-200 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-200B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-204 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-204B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-215 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-215B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.003μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-305 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-305B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.004μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-365 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.005μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-365B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.005μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-500 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.006μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-500B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.006μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-800 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.006μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-800B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.006μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-802 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.009μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD-802B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.009μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD1100 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.011μm

$ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD1100B 1 س 1010 particles/mL شنومك μm 0.011μm

$ 1495.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD1600 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.016μm $ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD2000 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.019μm $ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة
AP PD3000 3 س 108 particles/mL شنومك μm 0.026μm $ 295.00 السعر يبدأ من   أضف إلى العربة

منهجية القياس:

لضمان إمكانية تتبع NIST ، تم نقل الأقطار المعتمدة لهذه المنتجات عن طريق إلكترون الإرسال أو الفحص المجهري البصري من المواد المرجعية القياسية NIST (2). تم حساب عدم اليقين باستخدام NIST Technical Note 1297، 1994 Edition "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST" (4). عدم اليقين المدرج هو عدم اليقين الموسع مع عامل تغطية اثنين (K = 2). تم حساب قطر الذروة باستخدام نطاق ± 2s تقريبًا لتوزيع حجم الجسيمات. تم حساب توزيع الحجم على أنه الانحراف المعياري (SDS) للقمة بأكملها. معامل التباين (CV) هو انحراف معياري واحد معبر عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة. تم حساب توزيع FWHM (العرض الكامل بنصف الحد الأقصى) كتوزيع عند نصف ارتفاع الذروة معبراً عنه كنسبة مئوية من قطر الذروة.

1. "خارطة طريق التكنولوجيا الوطنية لأشباه الموصلات" ، رابطة صناعة أشباه الموصلات (1999)

2. SD Duke و EB Layendecker ، "الطريقة المعيارية الداخلية لمعايرة حجم الجسيمات الكروية شبه الميكرون بواسطة الميكروسكوب الإلكتروني" ، جمعية الجسيمات الدقيقة (1988)

3. SEMI M52 - دليل لتحديد أنظمة التفتيش السطحية لرقائق السيليكون الجيل 130 نانومتر التكنولوجيا.

4. Barry N. Taylor و Chris E. Kuyatt ، "إرشادات لتقييم والتعبير عن عدم اليقين في نتائج قياس NIST". NIST Technical Note 1297، 1994 edition، September 1994.

منتجات مماثلة

ترجمه "